快速退火爐的應用及硬件更換

日期：2025-12-04 11:27

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摘要：

快速退火爐廣泛應用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體和功率器件等多種芯片產品的生產，和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應力和致密化等工藝當中，通過快速熱處理以改善晶體結構和光電性能，技術指標高、工藝復雜、專用性強。

硬件更換：

1.加熱燈管更換：加熱燈管超過使用壽命或無法點亮時需進行更換。加熱燈管的使用壽命為3000小時，高溫狀態下會降低其使用壽命。

2.真空泵油更換：在使用過程中，請每季度固定觀察1次真空油表，當油表顯示油量低于1/3時請添加真空泵潤滑油到油表一半以上。

3.熱電偶更換：當熱電偶測溫不正常或者損壞時需進行更換。熱電偶的正常使用壽命為3個月，隨環境因素降低其壽命。

4.O型圈的更換：O型圈表面有明顯破損或者無法氣密時需進行更換，其壽命受外力以及溫度因素影響。

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